Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
SPIE Optical Engineering Press
Institution of Electrical Engineers |
| Φυσική περιγραφή: | 2 v. tabl., fig. 26 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0-85296-906-6 0-85296-911-2 |