Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Rai - Choudhury P.
Μορφή:	Βιβλίο
Γλώσσα:	English
Έκδοση:	SPIE Optical Engineering Press Institution of Electrical Engineers

Παρόμοια τεκμήρια