Rai - Choudhury P. (1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Press.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Rai - Choudhury P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Rai - Choudhury P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.