Handbook of critical dimension metrology and process control proceedings of a conference held 28-29 September 1993 Monterey, California
| Άλλοι συγγραφείς: | |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
SPIE Optical Engineering Press
|
| Σειρά: | Critical Reviews of Optical Science and Technology |
| Φυσική περιγραφή: | x, 358 p. fig., tabl. 26 cm. |
|---|---|
| ISBN: | 0-8194-1363-1 |