An introduction to semiconductor microtechnology

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Morgan David Vernon, Board Kenneth
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Wiley, J.
Έκδοση:2nd ed.
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:xiv, 208 p. fig., ill., tabl. 24 cm.
ISBN:0-471-92478-4